2012年8月22日，中国科学院计划局组织专家在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所验收了该所承担的院重大科研装备研制项目“原子层沉积/金属有机物化学气相沉积复合设备”。

会议评审专家组听取了项目负责人的《工作报告》、《财务报告》、《用户使用报告》。现场观看了设备的运行情况演示，并查看了该研制设备所制备的ZnO薄膜样品及其参数测试结果。审核了相关的文件档案，并提问和质询了相关问题，提出了很多的意见和殷切的期望。

经讨论，专家组一致认为，该项目所涉及设备功能和技术指标完全达到了项目实施方案规定的要求，经费使用合理，档案资料齐备、规范，符合验收要求，并同意该项目通过验收。